The effect of chlorine content on properties of TiN deposited with PECVD method

Haman Hedaiatmofidi, Alireza Sabour Rouh Aghdam, Shahrokh Ahangarani
Materials Sciences and Applications
2013
 

©  تمامی حقوق متعلق به سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران می باشد.